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低功耗液晶數顯手持式皮拉尼真空計

使用說明書

(7#干電池供電，無火花電源開關)

(＜5毫秒快速相應時間)

（進口POSIFA公司固體鉑薄膜電阻傳感器）

（傳感器長壽命、低功耗＜5毫瓦）

（低溫冷槽車等易燃易爆環境）

測量范圍: 3000—0.1Pa

(30—0.001mbar; 30—0.001Torr)

一、前言、

本儀器低電壓小電流工作，適用于低溫冷槽車和工業氣體設備、藥廠粉塵車間等易燃易爆環境真空測試。

本儀器應用真空中熱傳導與真空度有關的原理測量真空。采用美國Posifa公司MEMS皮拉尼真空傳感器（鉑薄膜）封裝制造，該測量元件是由一個置于一張隔熱膜上的鉑薄膜電阻構成。隔熱膜懸覆在一個微加工的25微米深空腔上，空腔底部表面與隔熱膜平行，以確保精密測量傳熱率。由于被測氣體體積小（即空腔容積小），Posifa傳感器能夠提供低的功耗和快速的響應時間。Posifa傳感器還提供了一個與測量電阻具有相同電阻溫度系數（TCR）的基準電阻，布置在傳感器芯片基板上。線路設計利用它來進行環境溫度補償。儀表的數據采集選用16位高速電路及高穩定微處理機監控新型線路，在分析儀器、半導體設備、機械泵測試、真空冶煉、真空浸漬、空調冰箱生產線等工業和科研部門有廣泛應用。

二、主要技術指標

1. 真空度測量范圍: 3000—0.1Pa(30—0.001mbar; 30—0.001Torr)

2. 數字顯示單位: Torr、Pa、mbar(符合、日本、美國、歐洲使用要求)

3.顯示方式：5位液晶顯示，直讀式顯示模式

4.工作電源: DC3V供電（4節AAA電池并聯）功率0.2W

5.傳感器功耗：5毫瓦

6.傳感器工作電流：6mA

7.快速響應時間：＜5毫秒

8.環境溫度：-40。C---125。C

9.濕度：0-RH

10.有15分鐘自動關機功能。

11.傳感器長期穩定，可用溶劑浸泡清洗，延長使用壽命

使用方法：

1、將真空傳感器和需測量的真空腔連接（測量口盡量朝下或橫裝），按真空密封要求密封（別注意防止真空泵返油）。

2、用電纜連接真空傳感器。

3、在儀表背部下端的電池盒中裝入4節7#電池（4節電池是左邊二節和右邊二節并聯組成3V電源）。

4、長按“ON”鍵3秒開啟電源，儀表液晶屏上有讀數顯示。用戶可按”UNIT”鍵Torr、Pa、mbarR顯示單位。

5、開啟真空泵抽真空，此時顯示器上顯示的是傳感器測量的真空數據。

6、按“TEST”鍵可顯示單節電池電壓，當電壓低于1V時請換新電池。儀器具有自動電池測試功能，當單節電池電壓低于0.9V時，LED燈會閃爍提醒用戶換電池。

7、測量完畢后按“OFF”鍵或長按“ON”鍵3秒關閉儀器。

注1：若要調整儀表的零點，可將真空傳感器用擴散泵或分子泵抽至0.01Pa以上，用螺絲刀調后面板“V”零點電位器使液晶顯示器恰好為0.05Pa,滿度調整可將傳感器置于大氣壓下，用螺絲刀調后面板“A”滿度電位器，使液晶顯示器恰好為99900Pa。(99999是過量程)。